技術(shù)文獻(xiàn)
雜質(zhì)沾污對(duì)電熱器件性能影響
提起雜質(zhì),人們就會(huì)覺(jué)著是臟的,不好的、有害的東西,其實(shí)不同的雜質(zhì)有不同的用途,在不同的地方產(chǎn)生不同的影響。雜質(zhì)的定義是指物體中含有非奔物質(zhì)的其他物質(zhì)為該物體中的雜質(zhì)。
電伴熱晶體管和集成電路的制造,使用的是含有雜質(zhì)的半導(dǎo)體材料。對(duì)于這種材料,其導(dǎo)電性能往往不只是決定于本征激發(fā)所產(chǎn)生的載流子,而是決定于材料中所含有的雜質(zhì),即決定于雜質(zhì)的性質(zhì)和含量多少。器件生產(chǎn)過(guò)程中,要遇到各種雜質(zhì),其中有些雜質(zhì)對(duì)器件制造有很大的好處(指有目的的雜質(zhì)摻入),.有些雜質(zhì)對(duì)器件制造帶來(lái)嚴(yán)重的危害(例如重金屬離子、鈉離子、油污、灰塵等),這些雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體材料制備和器件的生產(chǎn)有嚴(yán)重的破壞性,影響著材料的純度、晶體結(jié)構(gòu)的完整性、器件的性能和成品率。
在半導(dǎo)體材料制備或器件生產(chǎn)的不同工序中,同一種雜質(zhì)的作用也不一樣。例如,翻和礴這兩種元素,各有不同性質(zhì)和作用,制造n型半導(dǎo)體時(shí),磷是重要的摻雜雜質(zhì),硼則成為有害雜質(zhì),在制造P型半導(dǎo)體時(shí),翻是重要的摻雜雜質(zhì),磷則成為有害雜質(zhì)。在3DK晶體管生產(chǎn)中,有金擴(kuò)散工序,金元六是摻雜的有用雜質(zhì),但在其他晶體管和集成電路的生產(chǎn)中,則要采取一切措施,避免金的沾污。因此,某一種雜質(zhì)是有益的或是有害的,要按半導(dǎo)體材料制備和器件的生產(chǎn)需要確定。